SC-700
 
拋光與拋光後清洗為平坦化製程中最為重要的一道工序。然而，Buffing process的導入則為了良率的提升。優良的研磨墊清洗助劑能夠提供優異的洗淨力，不使顆粒回沾於晶圓之中，亦能清除製程中產生的副產物與維持較佳的耗材壽命。詳細的規格與產品特性，歡迎來信詢問。