選擇適當的拋光墊，有助於拋光效率的提升。本公司可依客戶需求，提供各種硬度、溝槽尺寸、溝槽形式的研磨墊，如需詳細規格，歡迎來信詢問。

 

產品介紹─SPH series
本產品因特殊之微孔結構，使拋光液在製程中具備良好之保持性，同時具有適度之剛性，以及良好之拋光再現性，可提升製程之穩定性。本產品具有高移除率、高平坦性、低缺陷性與高性價比等優勢，並具有耐腐蝕性及無鹵素之特性。

應用於各種玻璃、光學鏡頭、陶瓷、石英、金屬之粗中拋製程。

品名	SPH-57D	SPH-60D	SPH-75A	SPH-80A
厚度 (mm)	0.50 ~ 2.00	0.50 ~ 2.00	1.60	1.65
硬度 (shore A)	---	---	69	77
硬度 (shore D)	55	65	---	---
壓縮率 (%)	1.7	1.7	2.5	2.5
密度 (g/cm3)	0.85	1.06	0.40	0.52
對標業界產品	IC1000		LP66

產品介紹─SPM series
本產品因特殊之纖維結構，使拋光液在製程中具備良好之保持性，同時具有適度之剛性，以及良好之拋光再現性，可提升製程之穩定性。本產品具有高移除率、高平坦性、低缺陷性與高性價比等優勢。

應用於矽晶圓、砷化鎵、磷化銦、氮化鋁、碳化矽、氮化鎵、以及藍寶石晶圓之粗中拋製程。

品名	SPM-59A	SPM-74A	SPM-83W	SPM-89A
厚度 (mm)	1.40	1.38	1.40	1.47
硬度 (shore A)	61.0	73.5	82.0	89.5
壓縮率 (%)	11	5	3	3
密度 (g/cm3)	0.37	0.48	0.47	0.50
對標業界產品	SUBA400	SUBA600	SUBA800	FX11

產品介紹─SPP series
本產品藉由拋光面聚氨酯微孔隙結構及背板面特殊材質所構築而成的複合材特性，提供穩定且貼附的工件平坦度；而表面微結構提供拋光液絕佳的流動性，有助於提高工件移除率及其表面均勻性、降低粗糙度、以及降低橘皮和微刮傷等缺陷。

應用於矽晶圓、砷化鎵、磷化銦、氮化鋁、碳化矽、氮化鎵、以及藍寶石晶圓之精拋製程。

品名	SPP-54A	SPP-51A	SPP-52A	SPP-50A
厚度 (mm)	1.50	1.50	1.60	1.65
硬度 (shore A)	50	54	52	52
壓縮率 (%)	12	13	13	10
密度 (g/cm3)	0.35	0.50	0.40	0.37
孔洞範圍 (μm)	65	65	55	35
對標業界產品	Politex HI	Politex	---	---