S-Subway Polishing Cleaner, SPC series

拋光後清洗為拋光製程中最為關鍵的一道工序，良好的清洗劑能夠提供優異的洗淨力，達到低缺陷、無腐蝕的潔淨晶圓。本系列產品型號如下表，如需詳細規格，歡迎來信詢問。

 

品名	欲除磨料	工件
SPC-242	SiO₂	Silicon
SPC-332	Al₂O₃	SiC
SPC-342	SiO₂	SiC
SPC-532	Al₂O₃	Cu
SPC-750B	CeO₂	Quartz