S-Subtal Clean, SC series
 
研磨後清洗為拋光、研磨製程中最為關鍵的一道工序，良好的清洗劑能夠提供優異的洗淨力，達到低缺陷、無腐蝕的潔淨晶圓。本系列產品型號如下表，如需詳細規格，歡迎來信詢問。
 
 

型號	應用領域
SC-100	Prime Si
SC-200	Reclaim Si
SC-300	SiC
SC-400	III-V
SC-500	Cu CMP
SC-600	Oxide CMP
SC-700	Pad clean