S-Subtal Mirror Polish, SMP series
 
世博微電子具有高度客製化能力，SMP系列產品旨在解決客戶特有的問題，具有卓越的平坦化性能，同時滿足客戶交期與成本方面的期望。
 

	SMP-1000	SMP-2000
主要成分	SiO2	Al2O3
粒徑大小	100nm	100-200nm
外觀	乳白色	白色

 
 

型號	應用領域
SMP-5000	STI CMP
SMP-6000	Oxide CMP
SMP-7000	W CMP
SMP-8000	Cu CMP
SMP-8500	Barrier CMP
SMP-9000	Others