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磷化銦用拋光液
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產品介紹
拋光 Polishing
S-Subway Coarse Polishing, SCP series
針對各式半導體晶圓(矽晶圓、砷化鎵、磷化銦、碳化矽、氮化鎵...等)粗拋段製程所開發,依照晶圓特性及客戶需求選用磨料有二氧化矽、氧化鋁、氧化鈰系列,我司產品擁有優異的可調性與適用性(客製化)。
品名
AS-35150
主要成分
Al₂O₃
pH
9.50 ~ 11.50
平均粒徑
(nm)
350
外觀
白色
特性
用於背面減薄
回上層